Labor/Ausstattung

Lasermikrotechnik- / Ultrakurzzeitphysik / Hochleistungslaser (T225)

Lasermikrobearbeitungsanlage mit Excimerlaser (ATL, Optec):

  • 248 nm Wellenlänge
  • 18 mJ Pulsenergie
  • 5-6 ns Pulslänge
  • 300 Hz Repetitionsrate
  • 10 Mikrometer optische und mechanische Auflösung und Reproduzierbarkeit

Hochleistungsfemtosekundenlaser (EGIL) Clark CPA-2110:

  • Strahlqualität M2 = 1,2
  • 775 nm Wellenlänge
  • 1 mJ Pulsenergie
  • 150 fs Pulslänge (TBP 1,4)
  • 7 GW Pulsspitzenleistung
  • 1 kHz Repetitionsrate

Abbildung 1: EGIL (Emder Gigawatt-Laser)

Targetkammer (Vakuumkammer) für Experimente mit hohen Lichtintensitäten

verschiedene Laserdiagnostiken, Messtechnik zur Analyse von Mikrostrukturen, etc. :

  • Beamprofiler
  • Energie- und Leistungsmeßgeräte
  • Spektrometer
  • Autokorrelator
  • Standardmessgeräte wie
    • Oszillographen
    • elektronische Messwerterfassungssysteme etc.
  • Tiefenprofilanalysemeßgerät
  • verschiedene Mikroskope

Röntgenoptiklabor (T226)

hocheffiziente Spektrometer

  • vom nahen Infrarot bis in den Röntgenbereich

EUV-/XUV- und Röntgenoptiken:

  • großaperturige torische und sphärische Spiegel,
  • Multilayerspiegel
  • großaperturige freistehende Transmissionsgitter
    (1000 lp/mm, 5000 lp/mm, u.a.m.)

hoch auflösende CCD-Kameras


Materialanalyselabor und Mikrotechniklabor (T1007)

Rasterelektronenmikroskop und Mikrotechnische Einrichtungen

Zeiss EVO ® MA10

Abbildung 2: REM (Rasterelektronenmikroskop)

Röntgendiffraktometer


 

 

Darüber hinaus stehen der Arbeitsgruppe weitere Laseranlagen und Messtechnik in Zusammenarbeit mit den anderen Arbeitsgruppen zur Verfügung, u.a.

CW - Faserlaser

Messtechnik zur Analyse von Mikrostrukturen:
(Lichtmikroskop Leica,  Nahfeldarbeitsplatz zur Charakterisierung von Lichtwellenleitern etc.: AG Brückner)


 

 

 

Informationen, Hinweise etc. (intern)


siehe Y-Laufwerk (Y:\fbt\Arbeitsgruppen\Mikrotechnik)